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南韓媒體先驅商業報(Herald Business Newspaper)引述匿名產業人士報導,三星電子已在1月15日與半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)簽約,以4兆韓元(33.8億美元)采購約20臺極紫外光(EUV)微影設備。
去年10月就有消息傳出,三星電子向ASML采購15臺EUV設備,現在最新的數字代表三星的采購量高于初步的規劃。
消息人士說,這些EUV設備將在兩年內交貨給三星,用于晶圓代工事業與下一代DRAM的生產。
另外,「首爾經濟新聞」也報導,三星電子最快在今年底首度采用EUV設備生產DRAM。
ASML公司2019年出貨26臺EUV光刻機,明年交付多達50臺
荷蘭ASML阿斯麥公司日前發布了2019年Q4季度及全年財報,Q4營收40.36億歐元,同比增長35%,凈利潤11.34億歐元,同比增長81%,全年共計出貨26臺EUV光刻機。2019年全年,ASML公司營收118.2億歐元,同比增長了8%,毛利率從46%下滑到了44.7%,全年凈利潤25.92億歐元,維持不變。
去年Q4季度,ASML出貨了8臺EUV光刻機,收到了9臺EUV光刻機訂單,全年EUV光刻機訂單量達到了62億歐元,總計出貨了26臺EUV光刻機,比2018年的18臺有了明顯增長,使得EUV光刻機的營收占比也從23%提升到了31%。
由于三星、臺積電在2019年大規模量產EUV工藝,所以2019年是ASML的EUV光刻機大幅增長的一年,未來也會保持這個趨勢,預計2020年交付35臺EUV光刻機,2021年則會達到45臺到50臺的交付量,是2019年的兩倍左右。
這也側面證明了未來一兩年才是EUV工藝大規模量產的時間點。
展望2020年Q1季度,ASML預計營收31到33億歐元之間,毛利率46%到47%之間,研發費用約為5.5億歐元,SG A管理營銷費用1.4億歐元,稅率13%。